MEMS传感器结构

研究MEMS加速度计的实现结构,在加速度计产品中提供的手册里都是关于使用方面的注意事项。没有提到使用的sensor的结构具体是哪一种。请问如果想知道传感器芯片中sensor框图内部使用的具体结构需要查哪个文件?