ADUM1401使用中损坏

我有三块板使用了 ADuM1401CRW。一边是3.3V,另一边5V,在使用过程中不知道什么原因损坏了两片,输出脚高电平(输入脚有波形)。

请问这个是什么原因可能会引起芯片损坏?电路图如下:

图中AI-5V,在不始用的时候电源是被关闭的。